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M3030V 和5850E 替换

日期:2014/5/21     点击:2325     来源:

LINE-TECH M3030V 和BROOKS 5850E 基本参数

3030V  电源:15V     量程:10sccm-30slpm(N2基准任意定制)  信号:0-5V  接头:SWG/VCR  抗压:95bar

5850E  电源:15V     量程: 3sccm-30slpm (N2基准任意定制)  信号:0-5V  接头:SWG/VCR  抗压:100bar


备案 / 许可证编号:晋ICP备19004309号-1